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      HC-PL12

      高效桌上型系統

       

      MWD 12 結構緊湊的桌上型設計

      適用于研發和小批量生產

      具有專業的PLC 控制系統

       

      選件

      ● 真空系統

      ● 臭氧過濾器

      ● 附加工藝氣路

      ● 散料樣品旋轉臺

      ● 清洗隔板

      ● 側裝微波源

      ● 軟啟動和慢速填充

      ● 其它定制選件

       

      技術參數

      外形尺寸:

      腔體內部尺寸:

      腔體內部尺寸:

      W225 x H225 x D225 mm

      微波功率:

      2.45 GHz, 50-300W 可調

      工藝氣路:

      標準1 路,包括質量流量計和控制電磁閥等

      真空接口:

      DN16 KF

      DN16 KF

      230 V, 50/60 Hz 0.5KW 不含真空泵

      控制單元:

      觸摸屏PLC控制

      真空規:

      Pirani真空計

      主要應用:

      半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強

       

      產品特點

      ● USB 接口

      ● 以太網接口

      ● 遠程維護(VPN)

      ● 微波元上裝

      ● 易于操作的圖形化界面

       

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